广东半导体工厂洁净室二次配都包括什么
在洁净室二次配工程是指在洁净室主体建设和基础施工完成后,配合工艺设备进场就位,将设备(如电力、气体、纯水、排风等)进行最终对接安装及调试的工程活动。
简单来说,二次配就是完成从厂房的“主干管网”到“每一台生产设备”的“最后一公里”连接,确保设备能够获得所需的各种动力和介质,从而达到正常投运条件。
二次配的主要内容包括:电力:从配电柜到设备电源端的电缆敷设和接线。气体:特种气体和大宗气体从分配柜到设备端的管路连接。纯水与废水:超纯水供应和工艺废水的管路连接。排风:设备排气管道与中央排风系统的连接。通信设备信号线:网络线等的接驳。由于二次配在已建成的洁净室内施工,作业过程必须严格做好防尘防污管控,以保障洁净室等级不受破坏。
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