电子制造业万级无尘车间设计规范与环境控制

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2026-01-15 广东恒辉净化工程

电子制造业万级无尘车间设计规范与环境控制

电子制造业厂万级无尘车间特点：
洁净度等级要求高，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控，照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电，造成 CMOS 集成损坏。一般来说，电子厂房的温度应控制在 22 ℃ 左右，相对湿度控制在 50-60% 之间 ( 特殊无尘车间有相关温湿度规定 ) 。这时可有效地消除静电，并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业无尘车间的重要组成部分，由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格，主要以控制微粒和浮尘为主要对象，同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。

电子无尘车间

● 电子制造厂万级无尘车间内的噪声级（空态）：不应大于 65dB(A)
● 电子制造厂无尘车间垂直流无尘车间满布比不应小于 60% ，水平单向流无尘车间不应小于 40% ，否则就是局部单向流了。
● 电子制造厂无尘车间与室外的静压差不应小于 10Pa ，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于 5Pa
● 电子制造行业万级无尘车间内的新鲜空气量应取下列二项中的大值：
● 补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
● 保证供给无尘车间内每人每小时的新鲜空气量不小于 40m3 。电子制造行业无尘车间净化空调系统加热器，应设置新风，超温断电保护，若采用点加湿时应设置无水保护，寒冷地区，新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量，应取下面三项大值：
● 保证电子制造厂无尘车间空气洁净度等级的送风量：
● 根据热，湿负荷计算确定电子厂无尘车间的送风量：
● 向电子制造厂无尘车间内供给的新鲜空气量：电子无尘车间净化原理：气流 → 初效空气过滤器净化 → 空调 → 中效空气过滤器净化 → 风机送风 → 管道 → 高效空气过滤器净化风口 → 吹入房间 → 带走尘埃细菌等颗粒 → 回风百叶窗 → 初效空气过滤器净化重复以上过程，即可达到净化目的。
电子无尘车间参数：
● 换气次数： 100000 级 ≥15 次； 10000 级 ≥20 次； 1000≥30 次。压差：主车间对相邻房间 ≥5Pa
● 平均风速： 10 级、 100 级 0.3 － 0.5m/s ；温度冬季＞ 16 ℃ ；夏季 <26 ℃ ；波动 ±2 ℃ 。
● 温度 45 － 65 ％；高标准粉剂车间湿度在 50 ％左右为宜；电子车间湿度略高以免产生静电。
● 噪声 ≤65dB （ A ）；新风补充量是总送风量的 10 ％－ 30 ％；照度 300LX 。

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