电子净化车间防静电安全工作台的设计选择
8.0.1防静电安全工作台可用于制造和应用静电敏感元器件的场所。静电敏感元器件、组件及设备的操作,应在防静电安全工作台上进行。
一、二级防静电工作区及有明确防静电要求的台式精密电子设备的三级防静电工作区,应根据工艺要求配置防静电安全工作台。
防静电分级为一级的微电子制造和测试场所,防静电安全工作台应使用硬质台垫及无表面涂覆的难氧化金属台架;除微电子电路制造和测试以外的电子产品或整机产品的生产或调试场所的防静电安全工作台,其台面可采用软质台垫,台架可采用木质或金属。
8.0.2防静电安全工作台应由工作台、防静电台面或台垫、腕带连接装置、限流电阻和接地引线组成。
8.0.3防静电安全工作台按台面基材可分为普通型和专用型。专用型防静电安全工作台宜用于洁净室工作站。防静电安全工作台台面的防静电性能指标应符合本规范第3.2.1条的规定。
8.0.4硬质和软质防静电台垫,其表面电阻和体积电阻范围应为2.5×104Ω~1.0×109Ω。
8.0.5防静电安全工作台应设置腕带连接装置,防静电腕带应便于人体佩戴,并应接地。腕带连接装置应布置在工位的左、右两侧。
8.0.6防静电安全工作台应接地,腕带连接装置的下端应采用截面积不小于1.5mm2多股塑铜线与防静电接地系统连接。多台防静电安全工作台的接地连线不得串联连接。
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