电子净化车间-防静电工作区-空气调节系统和工业管道设计

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2026-03-13 广东恒辉净化工程

电子净化车间-防静电工作区-空气调节系统和工业管道设计

电子净化车间

7.0.1防静电工作区宜设置空气调节系统。
7.0.2当防静电工作区和其他房间空调参数不同时，宜分别设置空调系统。
7.0.3防静电工作区的温度及波动范围应满足工艺要求，宜为18℃～28℃。
7.0.4防静电工作区的相对湿度及波动范围应满足工艺要求，宜为45%～65%。
7.0.5防静电工作区的气流组织形式应根据洁净室(区)空气洁净度等级和生产工艺特点的不同要求确定。
7.0.6防静电工作区中空气调节系统的送、回风口和风管以及各种工业管道的输出、输入口装置，应选用导电材料制作，或表面涂刷防静电涂层，也可按工艺要求进行防静电处理。送、回风口和各种输出、输入口装置与配管系统之间应有可靠的电气连接，并应接地。
7.0.7防静电工作区中空气调节系统的风管和各种工业管道均应采取接地措施，接地连接点之间的距离不应大于30m，接地连接点的构造应符合设计要求。采用普通的法兰或螺栓连接，且中间存在非导体隔离时，应采取跨接措施。
7.0.8防静电工作区的配管系统中，使用部分绝缘性材质的配管时，应在配管表面安装紧密结合的金属网，并应将金属网接地。使用导电性非金属软管时，应在软管上安装与其紧密结合的接触面积不小于20cm2的金属导体，并应用接地引线与金属导体可靠连接接地。
7.0.9防静电工作区空气调节系统配置离子化静电消除器时，应符合本规范第9章的有关规定。
7.0.10防静电工作区空气调节系统的设备对电磁兼容性的要求尚应符合现行国家标准《电磁兼容试验和测量技术静电放电抗扰度试验》GB/T17626.2的有关规定。

7.0.11易燃、易爆环境以及各种流动液体或气体、粉体管道安装的防静电措施尚应符合现行国家标准《工业金属管道设计规范》GB50316的有关规定。

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