电子净化工程防静电材料及制品的基本要求和设计选择
3.1防静电材料及制品的基本要求
3.1.1防静电工作区采用的防静电净化工程材料应符合下列规定：
1、静电屏蔽材料应采用表面电阻或体积电阻小于1.0×103Ω的材料。
2、导静电材料应采用表面电阻或体积电阻为2.5×104Ω～1.0×106Ω(不含1.0×106Ω)的材料。
3、静电耗散材料应采用表面电阻或体积电阻为1.0×106Ω～1.0×109Ω的材料。
4、低起电材料应采用其表面上滚动摩擦后的带电电压绝对值不大于2000V的材料。
5、绝缘材料应采用表面电阻或体积电阻大于1.0×1012Ω的材料。绝缘材料在防静电工程中不得作为饰面材料应用。
3.1.2由几部分材料组合的防静电制品，其内部构造应具有导静电泄放的功能。其防静电性能应由制品的表面电阻、对地电阻和摩擦起电电位等参数确定。
3.1.3防静电材料应有长效型和短效型的区别。长效型防静电材料其防静电性能应与材料寿命同步，在使用期限内防静电性能应保持稳定。
3.1.4防静电材料及制品的其他各项性能尚应符合国家和行业现行有关标准的规定。
3.2防静电材料及制品的设计选择
3.2.1室内防静电工作区应根据设计分级，选用不同性能的防静电材料及制品，并应符合下列规定：
1、一级防静电工作区的地面和墙面、柱面应选用导静电材料。导静电型地面、墙面、柱面应满足下列技术指标：
(1)表面电阻、对地电阻应为2.5×104Ω～1.0×106Ω;
(2)摩擦起电电压绝对值不应大于100V;
(3)静电半衰期不应大于0.1s。
2、二级防静电工作区的地面、墙面、柱面、顶棚和门表面、软帘应选用静电耗散材料。静电耗散型地面、墙面、柱面、顶棚和门表面应满足下列技术指标：
(1)表面电阻、对地电阻应为1.0×106Ω～1.0×109Ω;
(2)摩擦起电电压绝对值不应大于200V;
(3)静电半衰期不应大于1s，但软帘的摩擦起电电压绝对值可不大于300V。
3、三级防静电工作区的地面、墙面、柱面视工艺技术要求可选用静电耗散材料或低起电材料。顶棚和门表面等可选用低起电材料。选用静电耗散材料的地面、墙面和柱面，应满足本条第2款的技术指标;选用低起电材料的地面、墙面、柱面、顶棚和门表面等，应满足摩擦起电电压绝对值不大于1000V的要求。
3.2.2防静电工作区室内设计不得选用短效型防静电材料及制品。
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