1总则
1.0.1为适应电子净化工程室内防静电设计的要求，规范电子工业建设工程防静电工作区的设计、治理的措施和实施方法，制定本规范。

1.0.2本规范适用于电子工业领域的新建、扩建和改建工程中室内防静电设计。

1.0.3防静电工作区设计应遵循下列原则：
1、应根据工艺配置的技术要求，预估工作区静电控制的期望目标，确定静电电位控制的目标值。
2、应根据防静电工作区构成因素和不同的防静电工作区使用要求，选择经济和有效的设计方案。
3、应根据防静电工作区质量控制要素，采取对应的预防措施，进行系统综合设计。
1.0.4防静电工作区设计应选用静电耗散型或导静电型材料，并应建立可靠的静电接地系统，同时应控制环境温湿度。
1.0.5防静电工作区设计标准应分为三级，一级标准应为室内控制静电电位绝对值不大于100V;二级标准应为室内控制静电电位绝对值不大于200V;三级标准应为室内控制静电电位绝对值不大于1000V。
防静电工作区设计分级标准适用场所可按本规范附录A确定。
1.0.6电子工业领域的防静电设计除应符合本规范外，尚应符合国家现行有关标准的规定。 
2术语
2.0.1静电electrostatic
一种处于相对稳定状态但不是静止不动的电荷，由它所引起的磁场效应较之电场效应可以忽略不计。可由物质的接触与分离、介质极化和带电微粒的附着等物理过程而产生。
2.0.2静电放电(ESD)electrostaticdischarge
当带静电物体表面的场强超过周围介质的绝缘击穿场强时，因介质电离而使带电体上的电荷部分或全部消失的现象。
2.0.3静电危害electrostaticharm
因静电放电产生的电磁辐射或静电感应而对电子元器件及仪器产生的有害影响。
2.0.4电晕放电coronadischarge
发生电场不均匀的，场强较高的电离放电现象，并伴有蓝紫色荧光。
2.0.5室内静电电位innerelectrostaticpotential
在设定的区域环境内，任一物体对地的静电电位差。
2.0.6静电放电敏感(ESDS)electrostaticdischargesensitive
产品性能受静电放电影响或损坏的敏感性，简称静电敏感。
2.0.7静电噪声electrostaticnoise
由于静电放电产生的电磁波辐射对电子装置、通信设施等产生的电磁干扰。
2.0.8防静电工作区(EPA)electrostaticdischargeprotectedarea
配备各种防静电设备和器材、能限制静电电位、具有确定边界、适于从事静电防护操作的特定工作环境。
2.0.9防静电工作区质量控制要素qualitycontrolelementsinelectrostaticdischargeprotectedarea
决定室内静电电位控制效果的主要环境因素。包括材料和构造形式、气候和环境条件、接地、器材和器具的静电性能、工艺流程、技术管理制度等。
2.0.10静电感应electrostaticinduction
在静电场影响下引起物体上的电荷重新分布的现象。
2.0.11静电泄漏electrostaticleakage
带电体上的电荷通过其内部或表面等途径使之部分或全部消失的现象。亦称静电泄放。
2.0.12屏蔽shielding
把带电体或非带电体置于接地的封闭或近乎封闭的金属外壳或金属栅网内，限制静电场穿过的措施。
2.0.13表面电阻surfaceresistance
在与材料同一表面上相接触的两个规定形状的电极间施加的直流电压与流过两电极间的稳态电流之商。
2.0.14体积电阻volumeresistance
在材料相对两表面上放置的两个规定形状的电极间施加的直流电压与流过两电极间的稳态电流之商。
2.0.15表面电阻率surfaceresistivity
沿试样表面电流方向的直流电场强度与单位长度的表面传导电流线密度之比。
2.0.16体积电阻率volumeresistivity
沿试样体积电流方向的直流电场强度与该处的电流面密度之比。
2.0.17对地电阻resistancetoearth
在被测物体表面一点对接地连接点或防静电接地装置之间的电阻。
2.0.18静电半衰期electrostatichalf-life
外界作用撤除后，带电体上静电电压或静电电荷下降到其初始值的一半时所需的时间。
2.0.19静电衰减期electrostaticdecaytime
外界作用撤除后，带电体上静电电压或静电电荷下降到其初始值的10%时所需的时间。
2.0.20摩擦起电电压triboelectricvoltage
用摩擦方法使物体带电的表面对地电位差。
2.0.21接地grounding
电气连接到能供给或接受大量电荷的大地、舰船或运载工具外壳等物体的措施。
2.0.22静电接地electrostaticgrounding
将金属导体通过接地极与大地进行电气上的连接，将静电电荷安全传导到地的措施。
2.0.23间接接地indirectgrounding
为使非金属物体进行静电接地，将其表面的全部或局部与接地的金属体紧密接触的一种接地方式。
2.0.24软接地softgrounding
通过足够阻抗接地，把电流限制在5mA的人身安全电流以下。
2.0.25静电放电接地系统ESDgroundingsystem
使静电泄放到大地而配置的接地线分支系统。亦称ESD接地系统、防静电接地系统。
2.0.26接地连接点earthbondingpoint
接地对象上的一个专用点，此点应被一根接地引线引接到接地线配置系统。
2.0.27防静电接地电阻electrostaticgroundingresistance
从防静电对象接地连接点至接地体，包括接地支线、接地干线和接地体电阻的总和。
2.0.28防静电安全工作台antistaticcontrolworktable
供静电敏感元器件、组件及设备操作的具有静电泄放功能的安全工作台架。
2.0.29静电中和electrostaticdissipation
带电体上的电荷与其内部或外部异性电荷的结合而使所带静电电荷部分或全部消失的现象。
2.0.30离子化静电消除器ionizingstaticeliminator

利用空气电离产生为中和带电体上的表面异性电荷所必需的正负离子的静电消除装置的统称。 

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